Vacuum Pump
打造乾淨真空環境不可或缺的非接觸結構真空泵浦。荏原的真空泵浦有獨家研發的轉子，具有省能源、小型・輕量的特長，以半導體製造工程為中心，活躍於半導體產業用途及醫療、研究開發等各種各樣的領域。
機型： EV-S型 EV-M型 EV-A10型 EV-PA型 ESR型 EST型 EMT型/EBT型
