Semiconductor Manufacturing Equipment
精密且高度集成化半導體生產不可或缺的高產量CMP裝置、具有精準研磨性能的斜面研磨裝置以及結構靈活的電鍍裝置。荏原向全球各大半導體廠商供應半導體生產裝置。
系統： F-REX型(CMP) UFP型(電鍍) EAC型(研磨)
