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台灣荏原精密股份有限公司 Ebara Precision Machinery Taiwan Inc.
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空冷無油式真空泵浦

空冷無油式真空泵浦(Air-cooled dry vacuum pump)是一種用於產生真空環境的設備,它不需要使用液體冷卻,只要依靠空氣冷卻系統來維持高效率運轉,並具有多項優勢。 〇〇〇型為機型代碼。

無油 全球 維護 投報 監控監控 環保 節能節能

應用

設備檢驗 設備分析 科學研究科學研究 電池製程 食品醫藥 半導體製程

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  1. 應用
  2. EV-PA
  3. 規格

檢驗設備

  • CD-SEM
  • FE-SEM
  • XPS
  • XRD
  • HeLD etc
  • 分析設備

  • 質譜儀
  • 表面衍射儀
  • 極低溫物性設備
  • 科學研究

  • 同步輻射裝置
  • 基本粒子研究
  • 加速器研究
  • 量子科學研究
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  • 半導體製程

  • 封裝
  • 粘合
  • 層壓板etc
  • EV-PA型

    實現輕量且小型化的空冷無油式真空幫浦

    小型・輕巧 低騒音
    型式 單位 EV-PA250 EV-PA500
    排氣速度¹ L/min 230(200) 500(430)
    極限壓力 Pa 0.5(2.0)¹
    連結口徑 吸氣口 NW25 NW40
    排氣口 NW25
    極限壓力時功率 KW 0.24(0.38) 0.27(0.6)
    冷卻方式 空冷
    電源 額定電壓 50/60Hz 單相 100-230V
    電壓允許波動範圍 ±10%
    電源容量 KVA 0.45 0.66
    長*寬*高 mm 189*482*253 189*482*272
    重量 KG 16 21
    符合全球標準 CE/UL/CSA/SEMI S2
    ¹氣鎮開啟時
    1. 應用
    2. EV-A10
    3. 規格

    檢驗設備

  • CD-SEM
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  • XPS
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  • HeLD etc
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  • 電池製程

  • 注塑
  • 乾燥
  • 消泡
  • 吸附
  • 粘合
  • 食品醫藥

  • 乾燥
  • 擴銷
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  • 冷凍乾燥
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  • 半導體製程

  • 封裝
  • 粘合
  • 層壓板etc
  • EV-A10型

    最適合用於大氣抽取、小型空冷無油式真空幫浦

    凝結性氣體排氣
    型式 單位 EV-A10
    排氣速度(氣鎮打開時) L/min 1,000
    極限壓力¹ Pa 1.0(2.0)¹
    水蒸氣排氣 g/hr 500
    連結口徑 吸氣口 NW40
    排氣口 NW40
    極限壓力時功率 KW 1.1
    冷卻方式 空冷
    電源 額定電壓 50/60Hz 單相 100-230V
    三相 100-230V
    電壓允許波動範圍 ±10%
    電源容量 KVA 3.0
    長*寬*高 mm 317*544*367
    重量 KG 75
    符合全球標準 CE/NRTL
    ¹氣鎮開啟時
    1. 應用
    2. EV-SA
    3. 規格

    檢驗設備

  • CD-SEM
  • FE-SEM
  • XPS
  • XRD
  • HeLD etc
  • 電池製程

  • 注塑
  • 乾燥
  • 消泡
  • 吸附
  • 粘合
  • 食品醫藥

  • 乾燥
  • 擴銷
  • 消泡
  • 冷凍乾燥
  • 科學研究

  • 同步輻射裝置
  • 基本粒子研究
  • 加速器研究
  • 量子科學研究
  • 大學
  • 研究所
  • 半導體製程

  • 封裝
  • 粘合
  • 層壓板etc
  • EV-SA型

    高耐用・節能 空冷無油式真空幫浦

    排量 凝結性氣體排氣
    型式 單位 EV-SA20 EV-SA30 EV-SA50
    排氣速度 L/min 1,670 3,330 5,000
    極限壓力 Pa 3.0/5.0¹ 2.0/3.0¹ 0.5/1.0¹
    連結口徑 吸氣口 NW40 NW40 NW50
    排氣口 NW40 NW40 NW40
    極限壓力時功率 KW 0.45 0.45 0.5
    冷卻方式 空冷
    電源 額定電壓 50/60Hz 單相 200-240V
    三相 200-240V
    電壓允許波動範圍 ±10%
    電源容量 KVA 3.0
    長*寬*高 mm 324*584*367 356*713*367 317*650*568
    重量 KG 65 90 150

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