Gas Abatement System
廢氣處理設備是能將地球溫室氣體(PFCs)、有毒氣體、VOC等製造工程中產生的有害氣體無毒化後，再排放到大氣的除害設備。除半導體製造工程外，也有應用於化學工場、電氣、藥品、電鍍・塗裝等各種工廠中。即使是難以進行除害處理的PFC氣體，荏原的廢氣處理設備也能以高效率處理。
機型： TND型 G5型 G6型 G6-E型 GT型 FDS型 GCR型
