專為半導體，液晶以及太陽能電池等產生大量生成物的製程而因運而生。
EV-M型泵浦在嚴苛製程的耐用度與節能之間取得完美平衡。
這款跨世代乾式真空泵浦結合了業界能源節省以及環境保護的需求。
| 型號 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M802N |
| 抽氣速率 | 2,500 L/min | 10,000 L/min | 20,000 L/min | 30,000 L/min | 50,000 L/min | 80,000 L/min |
| 到達底壓 | 5 Pa | 0.5 Pa | 0.5 Pa | 0.5 Pa | 0.5 Pa | 0.5 Pa |
| 進氣口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO200 |
| 廢氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 |
| 消耗電力 | 1.2 kW | 1.8 kW | 1.9 kW | 2.3 kW | 2.1 kW | 2.8 kW |
| 冷卻水 | 3 - 8 L/min | 3 - 8 L/min | 3.5-8 L/min | 4 - 8 L/min | 5 - 8 L/min | 5 - 8 L/min |
| 氮氣 | 15-18 L/min | 15-18 L/min | 15-18 L/min | 15-18 L/min | 16-20 L/min | 16-20 L/min |
| 重量 | 180 kg | 330 kg | 370 kg | 400 kg | 510 kg | 750 kg |
