Model ESR

可廣泛用於晶圓載入腔體室與SEM等輕型製程乃至腐蝕性製程。
隨著市場逐漸走向節能以及小型輕量化之乾式真空泵浦的趨勢，荏原維持一貫環境保護的責任，開發出ESR型泵浦來符合趨勢。

• 適用於具腐蝕性氣體環境(抗腐蝕鎳合金材質)。
• 佔地面積小，重量輕盈。
• ESR20N型泵浦在用於非腐蝕性製程時可不用外接氮氣管路。
• 採用最新微處理器技術進行微調控制。
• 泵浦運轉期間可輕鬆更換LCD控制器。
• 能源節省。
• 可變式抽氣效率，且具待機模式。
• 提供數位與類比訊號：讓製程設備即時掌握泵浦運轉狀況。
• 先進的數據儲存功能。
• 可於LCD控制器上調整氮氣安全範圍設定。
• 提供SEMI-S2 / CE / NRTL認證。