Model EV-S

使用產業標準的乾式真空泵浦技術，具備超低功耗，是輕、中製程的理想選擇。

• 佔地面積小，重量輕盈，低功耗，可變式抽氣效率。
• 泵浦可依製程需求提供各種選配功能(EV-S*P型：含有氮氣稀釋特氣功能；EV-S*N型：使用抗腐蝕鎳合金材質並含有氮氣稀釋特氣功能)。
• 直流電驅動馬達除了可降低功耗之外，並可於(50/60Hz) 頻率下達到相同的抽氣效率。
• 獨特的抽氣結構設計專利，有助於在正常大氣壓下提升抽氣效率。
• 先進的安全監控機制與數據儲存功能。
• 可透過LCD控制器手動設定安全監控機制的範圍。
• 擁有先進的監測功能，可記錄泵浦運轉時間。
• 提供SEMI-S2 / CE / NRTL認證。