1997
- 因應台灣半導體市場之蓬勃發展，於 9月12日正式成立台北總公司
1998
- 成立新竹及中壢事務所
- 榮獲華邦電子股份有限公司頒贈感謝狀，以表揚協助 8A廠順利建廠完成並正式啟用。
1999
- PUMP新機販賣達5,000台，佔台灣市場的市佔率百分之50
2000
- 湖口工廠開工興建
- 為提供更完善的維修服務，並加強與南科客戶的配合，成立台南事務所
- (1)CMP新機裝機達100台(2)FREX300(12吋)機台在台灣積體電路股份有限公司完成裝機
- 榮獲Ebara Corporation 頒贈之Outstanding Executive Award獎牌，表彰其海外子公司之優異表現
2001
- 湖口工廠完工，並於 7月26日舉辦開幕儀式正式啟用
2003
- CMP FREX300S(新一代12吋機台)第一台於台灣積體電路股份有限公司完成裝機
- 榮獲聯華電子股份有限公司頒贈感謝狀，以表揚協助 4廠順利建廠完成並正式啟用
2004
- PUMP新機販賣15,000台達成。
2005
- 為配合中科成立， 3月成立台中事務所
2006
- 為擴大服務據點， 10月成立林口事務所
- CMP最新機型FREX300S2第一台於台灣積體電路股份有限公司裝機
2007
- PUMP新機販賣20,000台達成300 MM 市佔率更高達百分之40以上
- CMP 250台裝機完成，市佔率達百分之30
- 9月湖口工廠擴建工程開始
- 與台灣積體電路股份有限公司共同開發銅製程(Cu Process)
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